国产设备如何立足半导体市场（一）

目前，我国从事半导体设备研究和制造的单位约60家，其中主要单位20家，一批新兴的由高素质人员组建的半导体设备公司陆续注册并已投入产品开发工作。国产设备的销售方向主要是院校和研究所中的科研型集成电路生产线及分立器件、LED、太阳能电池、SAW、电力电子等其他应用半导体设备的领域。国内半导体设备业的总体技术水平大致如下：0.5μm生产线主要设备的原型样机已提供给用户；一批8英寸设备正在研制中，有的已通过验收；几台100nm水平的关键设备已取得不同程度的进展，有的已完成β样机的研制，并已在用户的生产线上安装，目前正处于验收阶段；几种12英寸关键设备的α样机研制也已取得重要进展。

国产半导体设备起步比较早，上世纪五六十年代，国家已经开始着手研制，改革开放后，吸收了一些国际先进技术，逐步拥有了自主知识产权，在国内半导体市场上，国内厂商还是有一定实力的，而且在中低档市场上拥有一定的用户群。

目前，在国内有多家供应商，可提供前、后道多种工艺设备，在6英寸以下分立器件、集成电路生产线上使用，技术水平可满足工艺要求，如氧化/扩散设备、清洗设备等。
有些厂家引进了6英寸-8英寸集成电路生产线的二手设备，其中也出现了一些问题，现在有部分厂家生产线的关键工艺设备开始使用国产设备，这些设备起到了较好的填平补齐的作用。此外，信息产业部也予以大力支持，设备的实用化又有了新的发展，清洗、扩散/氧化/CVD设备也得到了很快发展。

虽然很多高档的半导体设备仍然依赖进口，没有进入大生产线，但是目前，七星华创、中电科技集团公司第45研究所等多家单位都在努力，希望在中高档设备上有所突破。

总的来说，经过了“十五”的磨炼，我国半导体设备行业基础逐步扎实，思路渐渐清晰，实力不断增强，水平悄然提高，部分(产品)有所突破，整体尚需努力，环境空前宽松，压力始终存在，机遇前所未有，差距依然巨大。

过去的五年，是我国半导体行业发展最为迅猛的时期，尽管与我国快速发展的半导体和集成电路产业相比，国内半导体设备制造业的发展相对缓慢，但与前几个五年计划时期相比却是获得最实质性进步的五年。其特点表现在：从业企业尤其是骨干企业经过多年的累计投入，制约发展的设计及加工条件和能力都不同程度地得到改善，与国际先进半导体设备制造商在硬件条件上的差距逐步缩小；发展理念从

以前的什么设备都做、眉毛胡子一把抓却什么都做不好到更专注于自己擅长的设备，持续不断地研发完善提高；从单纯追求设备性能指标的实现、追求设备的国产化率、追求是否能够获奖是否能够填补空白到追求设备的实用性及可靠性以及追求是否能够满足市场需求、满足客户的实际工艺需要而获得真正应用。

我国半导体集成电路产业的高速成长，国家对装备行业的空前重视，与国外日趋方便的交流方式和日益多样的合作渠道，为我国半导体设备行业的发展提供了前所未有的机遇。但国际著名厂商的本土化进入和目前国内厂家寥寥数个百分点的市场占有率、每年不足5亿元人民币的市场规模，则预示着新一轮残酷竞争的开始和并未减轻的生存压力，机遇与挑战并存！

国产半导体设备目前已具备了6英寸芯片及以下生产线的整机生产能力，大多还是应于国内实验线，部分产品具备8英寸研发水平。与国际先进水平相比，整体技术水平的差距依然是巨大的。如还没有一种设备能真正进入国内主流的8英寸乃至6英寸芯片生产线，设备厂家由于没有自己的工艺实验线而必须被动地依赖用户的“短板”问题仍然没能得到有效改善等，这些都需要在未来的发展中加以解决。

应该看到，国产半导体设备正在逐渐成熟。然而，相对于集成电路制造业，我国半导体设备制造业的发展还缓慢得多，其生产规模、研发水平、投资强度等方面要差得多。新建的集成电路生产线以8英寸为主，其生产设备仍然是国外设备居多。此外，大量价格低廉的国外二手设备涌入我国，也给国产设备造成了极大的市场压力，它们抢夺了大部分的市场份额，同时也极大地缩小了国产设备的利润空间。

从产业政策方面讲，国家对设备制造业的支持力度也不够大，研发投入少得可怜。而且，国内设备制造业与工艺生产相脱节，缺乏工艺方面的支撑，其研发周期相对较长。更为重要的是，长期以来，我国半导体设备行业落后的事实，使得国内的绝大部分客户对国产设备心存疑虑，信心不足，这使得国产设备进入生产线一试身手的机会很小，因此难以获得改进提高的机会，国产设备的工艺适应性不高，如此陷
入恶性循环，使国产设备进退两难。

国内的半导体行业正处于萌芽阶段，但也发展得相当快。目前的发展主要着重于零件、组件和国内客户生产所需的系统制造这两个方面。

目前，我国半导体设备业有一种向上突破的势态，如上海、沈阳等地都宣称要成为半导体设备的基地，并有相应大的动作，如上海中微正在搞世界一流的半导体工艺设备CVD及腐蚀，并已生产出样机提供给客户使用；沈阳正在与应用材料公司合作加工生产大型部件，并一次获得质量通过。
国产半导体设备目前的优势是什么？突破点在哪里？

从技术角度看，国产半导体设备尚无优势可言，目前仍处于追赶阶段。从长远观点来看，发展国产半导体设备的优势一是在于国家非常重视包括半导体设备在内的装备制造业，“十一五”期间将成为我国制造业的发展重点，这为我国半导体设备的发展营造了很好的宏观氛围，必将有利于我国半导体设备的快速发展。二是在于国产半导体设备最接近目前成长力最强的中国市场，接近市场既有利于设备的开 发和与工艺单位的密切配合，也有利于售后的维修服务和长远的零部件供应。三是国产半导体设备具有较大的价格优势，一般价格在进口设备的1/2或以下。

因此，国产半导体设备只要在技术上和服务上能够满足用户需要，我认为是会被国内集成电路生产厂家所接受的，问题在于我们能否下决心去做和怎样去做。因此，我们鼓励国内半导体设备单位抓住这一难得的市场机遇加快发展我国的半导体设备，同时我们也非常欢迎国外的半导体设备厂商到中国来发展。

国产半导体的优势在于：
1.价格相对便宜，在性能相同的情况下，采购商会考虑价格因素。
2.零配件提供方便，国内设备在长期使用过程中备品备件有保证。
3.服务便利，在国内购买设备后，出现故障后维修服务及时，能够很快速地解决问题，国内厂商也越来越注重加强自身服务意识。
4.在中、低档市场上有稳定的客户群，经过了四五十年的发展，国产半导体设备在中低档市场上已经拥有了一些稳定的客户。

国产半导体设备要有所突破，首先要根据客户需要研发新产品，在固有技术上不断提高，要进一步进行自主知识产权的开发，随着客户需求的不断提高，在适应过程中不断完善，并且真正形成具有我国特点的自主品牌。其次还要寻找常规生产用工艺设备，充分利用合资、技术合作、技术转让等手段，加大研制力度，争取短期内进入中高端集成电路生产线。

价格是国产半导体设备与国外产品竞争的唯一优势。高端设备由于缺乏竞争力而没有可比性，在具备生产能力的中低端产品上，价格往往成为国产设备竞争的杀手锏。严格来讲，应该是性能价格比。在基本同等的技术水平下，国产设备价格一般只有进口设备的1/10-1/3，这对要求投资回报率高资金回收快的用户无疑具有巨大的诱惑力。只要有成功应用的先例，就能吸引成批的买主。当然，使用成本低、备品备件便宜、维护保养方便快捷、中文操作界面等也是国产设备不可忽略的优势，尤其在价格同样也是客户对外竞争主要手段的行业，低价格意味着低的产品分摊成本，意味着竞争力的提高，我国太阳能电池制造行业大量采用国产设备就是一个最好的例子。另外，相对而言，国内厂家对国内市场和客户的了解程度更深，与用户的沟通更通畅，更易达成一致。

国产设备的优势在于：产品优势，国产设备生产企业对国内下游企业的实际情况更为了解，可为其提供更为适宜的量身定做的设备，如适宜操作的人机界面、简捷高效的功能等，可使顾客充分利用资源；价格优势，国内设计、生产、供应、运输、服务等环节成本较低，与国外企业相比有绝对的价格优势；地域优势，本土企业可以提供更快捷的服务，更直接的面对面交流和人员沟通，低价格的上门服务和操作培训，价优、量足、易得的备品备件，可以为顾客节约大量的运行成本，方便的物流系统可以提供点对点的货物运送，省去诸如报关、港口提货等繁杂的进口手续；人员优势，专用设备一般都采用面对面的人员推销方式进行销售，国内销售人员对行业发展情况比较了解，可以为顾客提供投资建议、采购咨询、产业链沟通等帮助，更有利于新用户的开发；民族情感，一种强烈的民族气节，振兴国家基础工业的民族感情驱使人们支持国产设备。

国产设备的突破点：国产半导体设备应该充分利用本土企业的地域优势和价格优势，加紧缩小与国外设备的技术差距，加强服务意识，树立顾客为本，以顾客需求为导向的经营理念，为国内顾客提供量身定做的产品，以产品差异化切入市场，建立起快速反应的服务机制，给国内用户以足够的信心。

我们非常高兴看到国内这样的成长速度，因为这对整个市场来说会起着一种刺激性和支持性的作用。一旦有了竞争，全球的制造者更会努力进行研发以求进步。目前的国产半导体设备商把重心放在0.2微米以上的技术，所以应该把握国家的各方面支持、对本地市场的认识以及拥有众多工程精英等优势来开拓国内的无限商机。在我们看来，这就是国产半导体设备的最大优势。

国内设备商和外国商家合作的机会也会随着国内市场的蓬勃而日渐增长。这些合作方式将有利于国内厂商在制造过程增添更丰富的知识和经验，并帮助中国半导体设备企业开拓国外市场。

国产设备如何立足半导体市场（二）