各种激发和检测方法所构成的能谱名称
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| 检测 | 激发 | ||
| 光子（hv） | 电子（e） | 离子（I） | |
| 光子（hv） | X射线光谱 荧光光谱 其他光谱 | 电子微探针 （EPMA或XMA） | 离子引发X射线光谱（IIR） |
| 电子（e） | 光电子能谱 （ESCA或XPS，UPS） 俄歇电子能谱 （AES） | 俄歇电子能谱 （AES） 低能衍射（LEED） 高能衍射（RHEED） 能量损失谱（ELS） 扫描俄歇显微镜 （SAM） | 离子中和谱 （INS） |
| 离子（I） | � | 电子探针表面质谱 （EPSMS） | 二次离子质谱 （SIMS） 离子散射谱 （ISS） |