半导体设备厂商热舞中国市场

中国已经成为IC厂商圆梦的热土，2004年中国集成电路产量达到211亿块，销售额达到545.3亿元，比2003年增长55.2%，成为全球集成电路产业发展最快的地区之一。而作为IC产业支撑的半导体设备业也将随之水涨船高，有业内人士预测，未来10年内我国半导体设备市场将超过200亿美元。 


　　国产设备：在期盼中成长 

　　中国电子专用设备工业协会的资料显示，2004年我国半导体专用设备行业(不包括国外厂商在国内设厂组装的企业)的销售额为4.23亿元，比2003年增长了67%。而据SEMI(中国)最新报道，2004年中国在半导体设备方面的投资为全球的8%，即28亿美元。两个数字放在一起，令人触目惊心。 

　　业内人士告诉记者，经过多年的发展，国产半导体设备行业已经取得了很不错的成绩：在半导体前道工序用扩散炉、快速热处理设备，清洗机、匀胶显影设备等；后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等；材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机，部分净化设备和试验设备，其中一些国产设备已经日渐成熟，并且已经有设备被用到国内集成电路生产线中。 

　　尽管如此，国产设备进入国内大生产线仍然很难，因为集成电路产业发展太快，设备还没用旧，产品就更新换代了，国内半导体设备企业跟不上市场变换的节奏，因此集成电路生产线几乎被国外厂商的产品垄断。为此，七星华创微电子设备公司副总经理盛金龙呼吁，国内的集成电路大生产线要用国内的设备，给国内设备企业一些机会。当然，前提是要加强国内各设备生产企业的开发能力，不断开发新工艺设备，以满足生产线的需要。 

　　在采访过程中，很多业内人士都提出，国家应该在政策、资金、关税等方面对国产半导体设备行业有所倾斜：系统研究振兴我国半导体和集成电路专用装备制造业的有关政策；鼓励国内装备制造企业、专用装备用户企业和资金进入半导体和集成电路专用装备制造业；在税收上应给予和国外进口设备同样的条件，如进口设备免关税，那么国产设备生产所用零部件进口也应实行零关税。 

　　国外厂商：中国市场收获忙 

　　中国半导体市场良好的发展态势，对全球半导体业有着重要的作用和贡献，国外半导体设备生产厂商忙着在中国市场布局也就不足为奇了。有关市场调研公司的分析报告显示，2004年中国市场半导体制造设备采购额大增了146%。 

　　近年来，中国半导体市场对高端设备和先进技术的需求逐渐增长，这一特点在2004年表现尤为突出。作为东京精密(Accretech)本地化公司，东精精密设备(上海)有限公司副总经理周雅萍认为，国际上知名的半导体生产厂陆续在中国建立生产基地，加速了国内半导体生产制作技术的提升，中国客户对半导体设备的需求也发生了很大变化。周雅萍说：“在几年前，客户要求价格便宜工艺简单的设备，通常客户感兴趣的设备为东京精密生产的低端产品。随着国内客户半导体生产工艺水平的提升，国内客户对先进的生产设备需求不断增加。” 

　　对于先进技术，中国市场与欧美市场的需求是相同的。对此诺发(Novellus)公司亚太区运营高级副总裁Chen Fusen认为，为了迎接IC制造方面的挑战，设备制造商需要扩展其现有设备的生产能力和设备的使用寿命，假如没有出众的技术，要在一两个制造节点的平台可延伸性方面领先通常是不可能的。他说：“在美国和欧洲那些成熟的市场的确是这样，在中国这样新出现的市场也不例外。在去年12月，Novellus把第一台SABRE300mm铜电镀设备装运到一家领先的中国代工厂。” 

　　此外，国外厂商针对中国市场的合作与服务也逐渐加强。去年3月，美国AVIZA公司宣布与我国最大的半导体设备制造商七星华创合作，在中国当地生产AVIZA的热处理设备和淀积系统。 

　　面对国内市场对半导体设备要求的变化，Accretech公司也将适时转变公司的营销策略。周雅萍介绍说，今年Accretech的工作重点主要是提高产品的售后服务质量，保证快速的备件供应。Accretech的本地服务队伍也相应地进行了扩大。爱德万测试(苏州)有限公司ATE事业部总经理森屋裕一说：“目前爱德万测试在国内的服务体系和质量与其他海外分公司相比毫不逊色，这是提供中国第一支持服务的强大基础。” 

　　对于2005年及今后的市场，各大厂商各执一词，但无论如何，中国市场仍将是这些国际半导体设备厂商的重要战略市场。