关注半导体设备市场新变化

东精精密设备(上海)有限公司副总经理周雅萍:

两大策略拓展中国市场
　　众所周知，中国半导体市场近年来迅速发展壮大。Accretech(东京精密)公司的半导体业务也随着中国半导体市场的成长不断扩大。为了提供及时和规范的备件供应，满足半导体客户无待机时间的严格要求，东京精密在1994年成立办事处的基础上，2002年又在上海成立了现地法人公司--东精精密设备(上海)有限公司，同时，在上海外高桥设立了保税库。Accretech的现地服务队伍也相应扩大，这些都已成为Accretech提供高效快捷服务的基础。
　　中国半导体市场在高速发展，半导体设备的需求也在不断变化。尤其是国际上知名的半导体生产厂陆续在中国内地建立生产基地，加速了中国半导体生产制作技术的提升。
　　中国客户对半导体设备的需求也发生了变化。几年前，客户要求价格便宜工艺简单的设备，通常客户感兴趣的设备为Accretech生产的低端产品。随着中国客户半导体生产工艺水平的提升，中国客户对先进的生产设备需求不断增加。在设备采购过程中，加工质量成为主要的考虑因素。另外，由于中国客户在不断提高生产工艺，Accretech开发的新产品也以其优良的性能价格比，在中国受到欢迎。比如Accretech新开发的硅片背面减薄机，可以将硅片减薄到50μm，用于对硅片厚度有特殊要求的封装工艺，它可以集成硅片减薄的粗磨、精磨、抛光、去保护膜和贴划片膜工艺，目前许多客户对此类先进设备也非常感兴趣，有些客户已经在使用此设备进行生产。
　　由于中国内地市场对半导体设备的要求在变化，Accretech公司也针对半导体设备市场的需求，转变公司的销售策略。Accretech将继续加大传统半导体设备的销售，进一步提高售前售后服务的质量。对探针台来说，Accretech的探针台已被中国客户接受，占有比较大的市场份额，工作重点主要是提高产品的售后服务质量，保证快速的备件供应。对于划片机来说，Accretech将针对中国客户推出新的产品，并推广高端的划片机产品，如全自动划片机及双主轴划片机。同时，Accretech也将加大新产品的推广力度，主要是用于半导体前道工艺及硅片表面缺陷检测设备WW50及CMP设备ChaMP。这些前道设备均为Accretech近几年开发的新设备，吸收了原有设备厂商的经验并融合了Accretech先进的精密加工技术及技术解决方案，可以满足最先进的半导体加工要求。随着中国内地芯片厂的增加，我们相信新设备的销售将是Accretech在中国半导体业务的新增长点。
　　从全球半导体市场看，2005年半导体市场将又一次进入调整阶段，但相对上次的低谷时期对设备厂商的影响要小。我们预测到2006年3月市场会有所回升。今年Accretech将继续扩大工厂生产规模，继续革新生产工艺，降低制造成本，迎接快速回升的繁荣市场。当然全球半导体市场不景气对中国的市场也会有影响，但通过全体员工的努力，我们相信今年的中国市场将保持稳定。
Accretech的产品品牌由原来的TSK变为现在的ACCRETECH，东京精密将继续在中国加大市场推广工作。我们将参加在上海举办的Semicon China及在北京举办的IC China展览会。相信中国客户将更加了解东京精密，了解ACCRETECH不仅是优秀的探针台及划片机生产商，而且可以提供先进的前道加工设备。
Novellus Systems公司亚太区运营高级副总裁Chen Fusen:
强化设备生产能力服务客户
　　很明显，由于中国的半导体市场日渐成熟，这个地区将在全球半导体工业的增长中扮演越来越重要的角色。市场分析家预测，2004年中国整个电子工业的收入已增加到1800亿美元以上(Dataquest)。同时，根据Dataquest预测，与全球6.7%的复合年度增长率(CAGR)相比，中国电子工业从2003年到2008年将增长12.9%，2005年数字、蜂窝和基于DSL的产品预计将超过360亿美元，这代表着最大的市场部分。
　　通信和消费电子产品、移动电话、家用电器、电视机、DVD播放机的增长和其他新一代应用，继续推动着中国对领先的芯片的需求。为了满足这种需求，中国的半导体生产日渐增长，反过来，这也刺激了具有成本效益和生产效率的用于生产新型IC的半导体制造装备的需求。芯片制造商继续面临着巨大的制造挑战，因为他们要跟上日益增长的市场需求，满足那些低功耗和灵活性的更小和更快的产品应用要求，又因为高档消费产品需要更多特殊的材料，诸如铜金属化和低k介电质等，制造过程中也就需要更先进的设备。器件的缩小、新材料的应用和晶圆基片尺寸的增加，共同引发了一场对高成本带来巨大冲击的技术创新的"完美风暴"。诸如铜金属化、低k介电质、高k栅氧化层、绝缘体上硅(SOI)和应力硅晶格等技术，都需要工程设计资源和资金方面的巨大投入，以确保制造工艺的无缝整合。
　　为了迎接这些制造方面的挑战，设备制造商需要扩展其现有设备的生产能力和设备的使用寿命。平台可延伸性可以满足技术和生产力两方面的需求。假如没有出众的技术，要在一两个制造节点的平台可延伸性方面领先，通常是不可能的。在美国和欧洲那些成熟的市场，的确是这样，在中国这样的新出现的市场也不会例外。
　　在像中国一样的对成本敏感的市场，制造商面对的挑战在技术和生产能力方面提出了一个新的问题。为了节省成本而投资于过时的或质量低劣的设备，不仅影响下游产品的质量，还要求制造商根据每一种器件尺寸的缩小而在新工具方面进行投资。要使设备的使用寿命可以覆盖多个工艺发展阶段的更有效的方法，就是投资于具有可扩展性和灵活性的优质高科技设备。
　　为了帮助用户克服制造面临的挑战，Novellus的整个产品线均具有平台可延伸性。例如，电化学沉积技术最初是用于0.25μm的，现在无需重新设计已经扩展到了45nm的SABRE Electrofill平台。在2004年12月，Novellus把第一台SABRE300mm铜电镀设备装运到一家领先的中国代工厂。
　　同样，INOVA物理蒸发沉积(PVD)系统也是这样，它最初是在180nm的微米级应用的，现在已经延伸到了45nm平台。在化学汽相沉积(CVD)方面，诸如钨沟填脉冲晶核形成层技术的创新，使Novellus能够利用ALTUS系统，在极端困难的45nm结构条件下，进行无气泡填充，而不牺牲CVD方法固有的生产效率。类似的创新也被用于铝质蚀刻制造工艺中先进的电介质填充，以保持高量产的CVD沉积率。Novellus的VECTOR系统是专门为在同一个反应堆中沉积先进的低k介电质膜优化的，该反应堆过去经常用来沉积比较普通的硅氮化物等的薄膜。此外，用于250nm工艺的同样的平台也能用于45nm工艺。
　　从长远来说，技术和可靠性的焦点在于，既要有低成本的系统服务，也要减少先进器件的制造成本。随着最前沿技术的应用，可以使制造商能够生产更具有附加价值的个性化的产品，以便在市场上获得额外的回报。这既迅速满足了日益成长的中国需求，中国的半导体工业也很有可能克服影响全球工业的一些相同的难题。为了支撑长期的增长和扩张，除在成本方面进行竞争外，中国的半导体工业需要提升到更优质的档次。
爱德万测试(苏州)有限公司ATE事业部总经理森屋裕一:
维护和服务是第一目标
　　伴随着业界景气的恢复，2004年也成为外商对华投资再开始的契机。中国半导体产业伴随着中国半导体市场的快速成长，在政府欲增加国产化比例的政策下，全球性的IDM企业增产，Foundry的规模扩张，Assembly&Test工厂的新计划等被实施，在世界半导体量产工厂的行列里，中国正扎实地继续构筑着自己的地位。
　　受此影响，2004年爱德万测试的半导体测试设备，在中国的新装机和移机数达到了近300台，目前在综合安装台数上，取得了中国第一的成绩。特别是2004年由于相当多的设备从海外移到中国内地，对二手设备的服务内容也亟须充实。2004年爱德万测试面对大量的被引入到中国的设备，以系统的维护、增强售后服务为第一目标，招募了大批软硬件工程师，增加了维修零件的库存，增设了提供支持服务的网点。目前爱德万测试在中国的服务体系和质量与其他海外分公司相比毫不逊色，这是提供中国第一的支持服务的强大基础。
　　另一方面，纯粹的中国内地的IC设计市场也从2003年度的46亿元的规模，发展到2004年翻了一番的程度。在此之前低端芯片是主流，但2004年从中端到高端的芯片也得到推广，一部分正在实现量产化。针对中国的IC设计公司，2004年爱德万测试，在各地半导体协会的帮助下，特别是通过召开以SOC测试技术为主的研讨会，在测试程序的作成、设计评价、量产芯片评价等方面，为IC设计公司提供支持，为中国半导体产业的发展作出了努力。
　　2005年，纵观世界半导体产业，前半期会继续上一年度后半期以来的低迷情况，在中国也会受到设备投资削减的影响，但与其他地方相比，预计仍然会继续增长。IDM各厂商的新工厂开工和计划落实，新Foundry工程的计划和Assembly&Test工厂的运作，增产、新项目开发等举措在中国各地都会陆续得到推进。爱德万测试将进一步提高工程师的水平，增加程序开发力量，在更多的城市建立起新的支持网点，构筑更强大稳固的支持，组织方面投入更大的力量。同时，我们还将在半导体设备所使用的软件、应用程序的开发方面，研究如何有效利用中国的资源，加强与企业的业务合作关系。
　　另一方面，中国设计市场，如数字电视以及对应于3G的通信设备等中端芯片正在逐渐开始实现量产化。而在此之前，中国内地设计的半导体芯片，使用0.36μm以上工艺技术的低端产品占了大部分，像MCU那样在量产上无需依靠专用半导体设备进行出厂检查的芯片比比皆是。但是最近，在中端以上的芯片设计领域，且不说设计评价，就是在量产上，测试的重要性也得到了大家的认同。
　　这次Semicon China，爱德万测试将以"为量产作贡献"为主题，介绍在业界50年间在全球量产上作出的成绩以及在中国设立上海公司以来的10年间为中国半导体产业作出贡献的历史，展示在全球范围内装机数超过600台的SOC量产机种T6575(HL系列)并进行操作演示。而且，2005年，爱德万测试也计划在中国市场开始销售充实了模拟功能的低成本测试设备T7722。