日本开发成功小型离子泵

日本信息通信研究机构纳米科技部门,神户尖端ICT研究中心最近开发出了体积和重量仅为传统产品1/10左右的离子泵。尺寸为直径100mm×长200mm，重1.3kg。产品将用于电子显微镜和可搬运10-8～10-9Torr（10-6～10-7Pa）高真空环境的小型真空设备。

离子泵总重量为6kg左右，使用4节5号干电池可连续工作20小时。该离子泵采用的材料轻于真空泵常用的不锈钢，且通过把电极结构从以往的二维改为三维，使小型化和低电压、低电流驱动成为了可能，从而成功实现了小型化和节能化